等离子体是游离于固、液、气三态以外的一种被称为第四态的新物态体系。过氧化氢低温等离子灭菌将过氧化氢气体灭菌与低温等离子体灭菌有机结合，其原理为：①在极度真空的腔体内，定量输入的过氧化氢溶液被气化，过氧化氢本身对某些微生物有致死作用;②过氧化氢受电磁波激发产生等离子体时高频放电，其能量足以打开有害分子的共价键，使其分解为无害的原子或分子;③等离子体中包含大量具有极高能量的高能电子、激发态粒子等活性粒子，高速运动时可在瞬间击穿或氧化器械表面病原微生物中的蛋白质和核酸，干扰和破坏微生物的生长而灭活，同时产生的大量的强氧化性自由基和氧化性极强的O3，与有害气体分子生成无害物质，最终达到灭菌的效果[7] ......